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Norcada

 

Norcada社は、MEMS技術を利用して、透過型電子顕微鏡(TEM)やX線アプリケーションなどで使用する窒化シリコン薄膜(SiNメンブレン)の製造を行っています。TEMで組成分析を行う際、マイクログリッド方式の支持膜では、炭素原子の影響が避けられませんが、窒化シリコン薄膜を使用した場合には、その影響をほぼ受けずに分析が可能です。薄膜のストレスを最適(250MPa)にコントロールしているため、薄膜の強度が強いことも特徴です。

その薄膜微細加工技術を応用し、サンプルホルダーやヒーター,特殊な化学試験用のセルといった電子顕微鏡向けの製品の開発・製造を行う他、バタフライパッケージの中赤外DFBレーザーモジュールやテラヘルツ用のポラライザといった広い波長域に対応する様々なデバイスを手がけております。

Norcada社製品

赤外/中赤外DFBレーザー
  Norcada社の赤外/中赤外DFBは、同社が培った半導体に関する技術を応用して製造を開始した新しい製品です。優れたチューニングレンジと高い安定性が特徴となっており、特にTDLAS(Tunable Diode Las …
In-situ電子顕微鏡用MEMSデバイス
  Norcada社では、観察対象の試料に様々な外的刺激を与え、その様子を透過型電子顕微鏡(TEM)やX線顕微鏡などでリアルタイムに観察するIn-situ顕微鏡の分野において、顕微鏡メーカーなどとも共同研究を重ね、電極や …
電子顕微鏡用窒化シリコン薄膜
    Norcada社の電子顕微鏡用窒化シリコン薄膜は、透過型電子顕微鏡(TEM)用のSiNメンブレン製サンプルホルダーです。一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析時に炭素原子の影響が避けられま …
X線・IR・UV用窒化シリコン薄膜
  Norcada社のX線・IR・UV用窒化シリコン薄膜は、主に顕微鏡での分析に用いるためのSiNメンブレン製ウインドウです。一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析時に炭素原子の影響が避けられませ …
高応力窒化シリコン薄膜
  Norcada社の高応力窒化シリコン薄膜は、低温環境でも高Q値で非常に応力が高いSiNメンブレン製ウインドウで、主として量子化学の分野をはじめとした研究用途に用いられます。 ウインドウおよびフレームの形状や厚みが等が …
純シリコン薄膜
  Norcada社の純シリコン薄膜は、SiNやSiO2が含まれない単結晶または多結晶のSiメンブレンをシリコンフレームに取り付けたもので、主としてX線回折に用いられます。 形状や厚みが等が異なる様々なモデルが用意されて …

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