Norcada社は、MEMS技術を利用して、透過型電子顕微鏡（TEM)やX線アプリケーションなどで使用する窒化シリコン薄膜（SiNメンブレン）の製造を行っています。TEMで組成分析を行う際、マイクログリッド方式の支持膜では、炭素原子の影響が避けられませんが、窒化シリコン薄膜を使用した場合には、その影響をほぼ受けずに分析が可能です。薄膜のストレスを最適（250MPa）にコントロールしているため、薄膜の強度が強いことも特徴です。
その薄膜微細加工技術を応用し、サンプルホルダーやヒーター，特殊な化学試験用のセルといった電子顕微鏡向けの製品の開発・製造を行う他、バタフライパッケージの中赤外DFBレーザーモジュールやテラヘルツ用のポラライザといった広い波長域に対応する様々なデバイスを手がけております。
Norcada社製品
Norcada社の赤外／中赤外DFBは、同社が培った半導体に関する技術を応用して製造を開始した新しい製品です。優れたチューニングレンジと高い安定性が特徴となっており、特にTDLAS(Tunable Diod …
Norcada社では、観察対象の試料に様々な外的刺激を与え、その様子を透過型電子顕微鏡（TEM）やX線顕微鏡などでリアルタイムに観察するIn-situ顕微鏡の分野において、顕微鏡メーカーなどとも共同研究を重 …
Norcada社の細孔付窒化シリコン薄膜は、SiNメンブレン上に高精度の細孔加工が施された製品です。掲載している標準品の他に、膜厚・孔径・ピッチ・フレーム形状・電極取付等の様々なカスタマイズにも …
Norcada社の電子顕微鏡用窒化シリコン薄膜は、透過型電子顕微鏡（TEM）用のSiNメンブレン製サンプルホルダーです。一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析 …
Norcada社のX線・IR・UV用窒化シリコン薄膜は、主に顕微鏡での分析に用いるためのSiNメンブレン製ウインドウです。一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析時に炭素原子の影響が避 …
Norcada社の高応力窒化シリコン薄膜は、低温環境でも高Q値で非常に応力が高いSiNメンブレン製ウインドウで、主として量子化学の分野をはじめとした研究用途に用いられます。 ウインドウおよびフレームの形状や …
