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Norcada

 

Norcada社は、MEMS技術を利用して、透過型電子顕微鏡やX線アプリケーションなどで使用する窒化シリコン薄膜(SiNメンブレン窓)の製造を行っています。

一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析時に炭素原子の影響が避けられませんが、シリコンフレームに取り付けられた窒化シリコン薄膜をサンプルホルダーとして用いれば組成分析にほとんど影響を与えません。また、品質管理を徹底しており、製品はクリーンルーム環境下で検査・梱包を行った上で出荷されます。

さらに、薄膜微細加工技術を応用して、サンプルホルダー・ヒーター・特殊な化学試験用のセルなど電子顕微鏡向け製品の開発・製造を手がける他、バタフライパッケージの中赤外DFBレーザーモジュールやテラヘルツ用のポラライザといった広い波長域に対応する様々なデバイスを提供しております。

Norcada社製品

赤外/中赤外DFBレーザー
  Norcada社の赤外/中赤外DFBは、同社が培った半導体に関する技術を応用して製造を開始した新しい製品です。優れたチューニングレンジと高い安定性が特徴となっており、特にTDLAS(Tunable Diod …
In-situ電子顕微鏡用MEMSデバイス
  Norcada社では、観察対象の試料に様々な外的刺激を与え、その様子を透過型電子顕微鏡(TEM)やX線顕微鏡などでリアルタイムに観察するIn-situ顕微鏡の分野において、顕微鏡メーカーなどとも共同研究を重 …
孔付き窒化シリコン薄膜
   Norcada社の孔付き窒化シリコン薄膜は、SiNメンブレン上に孔径やピッチが揃った高精度の細孔加工が施された製品です。 ウインドウの厚み・大きさ・孔径・ピッチ等が異なる豊富な標準品を揃えている他、電極取り付け等の …
標準窒化シリコン薄膜 – 円形フレーム
    Norcada社の円形フレームタイプの標準窒化シリコン薄膜は、特に透過型電子顕微鏡(TEM)用のサンプルホルダーに適した形状のSiNメンブレンです。 シングルタイプ/アレイタイプそれぞれで、ウインドウの厚みや大き …
標準窒化シリコン薄膜 – 四角フレーム
  Norcada社の窒化シリコン薄膜は、高いX線透過率に加えて厚みの均一性と平坦性にも優れた、イメージングや解析に適した製品です。 様々な用途に利用できるように、ウインドウの厚みや大きさ・フレームの大きさが異なる豊富な …
量子研究向け高Q値窒化シリコン薄膜
  Norcada社では、主に量子挙動の研究用途向けに、組成・引張応力を最適化した極低温環境でも高い機械的品質係数(Q値)を有するSiNメンブレンを製作しております。 ウインドウの厚みや大きさ等が異なる豊富な標準品を揃え …
シリコン結晶薄膜
  Norcada社のシリコン結晶薄膜は、SiNやSiO2が含まれない純粋な(100)方位の単結晶Siメンブレンをシリコンフレームに取り付けたもので、主にX線回折・光学・高分解能顕微鏡等に用いられます。 ウインドウの厚み …

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