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電子顕微鏡用窒化シリコン薄膜

   

Norcada社の電子顕微鏡用窒化シリコン薄膜は、透過型電子顕微鏡(TEM)用のSiNメンブレン製サンプルホルダーです。一般的なマイクログリッド方式のサンプルホルダーの場合は組成分析時に炭素原子の影響が避けられませんが、シリコンフレームと窒化シリコン薄膜によるサンプルホルダーでは組成分析にほとんど影響を与えません。

シングルタイプ/アレイタイプそれぞれで、寸法が異なる様々なモデルが用意されております。カスタムオーダーも承っておりますので、弊社営業部までご相談ください。

アプリケーション

  • TEM用サンプルホルダー
  • 組成分析
  • 元素分析

スタンダード シングルタイプ

  • シリコンフレーム:2.65×2.65mm(φ3mm),厚さ200μm
型番SiN膜厚ウインドウサイズ
NT005U5nm0.05×0.05mm
NT001Z10nm0.01×0.01mm
NT005Z10nm0.05×0.05mm
NT010Z10nm0.10×0.10mm
NT015Z10nm0.15×0.15mm
NT025Z10nm0.25×0.25mm
NT050Z10nm0.50×0.50mm
NT001Y20nm0.01×0.01mm
NT025Y20nm0.25×0.25mm
NT050Y20nm0.50×0.50mm
NT005X30nm0.05×0.05mm
NT025X30nm0.25×0.25mm
NT025A50nm0.25×0.25mm
NT050A50nm0.50×0.50mm
NT015C100nm0.15×0.15mm
NT025C100nm0.25×0.25mm
NT050C100nm0.50×0.50mm
NT025D200nm0.25×0.25mm
NT015F1000nm0.15×0.15mm

※1パック10個入での販売となります

位置タグ微細孔付タイプ

位置タグ微細孔付タイプの拡大写真

  • シリコンフレーム:厚さ200μm
型番SiN膜厚ウインドウサイズ孔径孔間隔
NH050A250nm0.5×0.5mm2.0µm3.0µm
NH050D2200nm0.5×0.5mm2.0µm3.0µm

※1パック10個入での販売となります

ナノ多孔タイプ

φ0.5μm径の多孔タイプ

  • SiN膜厚:50nm
型番ウインドウサイズ孔径ピッチアレイサイズアレイ数
NH005A010.05×0.05mm100nm孔径×225×251
NH005A030.05×0.05mm300nm孔径×225×251
NH005A050.05×0.05mm500nm孔径×225×251
NH005A10.05×0.05mm1000nm孔径×215×151
NH050A030.5×0.5mm300nm孔径×525×254
NH050A050.5×0.5mm500nm孔径×525×254
NH050A10.5×0.5mm1000nm孔径×515×154
NH050AVA0.5×0.5mm100,300,500nm
& 1000nm
孔径×525×252×2
孔径毎のペア

※1パック10個入での販売となります

  • SiN膜厚:200nm
型番ウインドウサイズ孔径ピッチアレイサイズアレイ数
NH005D030.05×0.05mm300nm孔径×225×251
NH005D040.05×0.05mm400nm孔径×225×251
NH005D050.05×0.05mm500nm孔径×225×251
NH005D10.05×0.05mm1000nm孔径×215×151
NH050D030.5×0.5mm300nm孔径×525×254
NH050D050.5×0.5mm500nm孔径×525×254
NH050D10.5×0.5mm1000nm孔径×515×154
NH050DVA0.5×0.5mm300,400,500nm
& 1000nm
孔径×525×252×2
孔径毎のペア

※1パック10個入での販売となります

ウインドウアレイタイプ

  • シリコンフレーム:厚さ200μm
型番SiN膜厚ウインドウサイズアレイ数ウインドウ間隔
TA301Z10nm0.1×0.1mm3×30.35mm
TA301X30nm0.1×0.1mm3×30.35mm
TA301A50nm0.1×0.1mm3×30.35mm

※1パック10個入での販売となります

長方形ウインドウタイプ

  • シリコンフレーム:厚さ100μm
型番SiN膜厚ウインドウサイズウインドウ数
N1S1906A50nm1.9×0.6mm1
N2S1801A50nm1.8×0.1mm2

※1パック10個入での販売となります

取扱手順書

Download (PDF, 208KB)

 

取扱製品

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